ANSEROS Ozonwasser­aufbereitungs­system PAP-SC-200

Anwendungen

IMEC- und RCA-Reinigungsverfahren
UPW-Systeme
Advanced Oxidation Processes AOP
Drei-Phasen-Systeme
Biologischer Abbau DOC
Sterilisation
CIP-Reinigung

Technische Daten

Gasfluss: 100 …. 1000 Nl/h
O3: 100 – 300 g O3 / m³
Material in Kontakt mit Ozon: PFA, Quarz
Abmessungen: H760/B600/T220 mm
Anschluss Einlass/Auslass: ¼” – 6/4 PFA-Rohr
Gewicht: 40 kg
Stromversorgung: 230 VAC-50/60Hz

Ozonwasser­aufbereitungs­system PAP-SC-200

Article number: PAP-SC-200

Produktdetails

In der Halbleiterverarbeitung ist ein vollständig reines Ozonsystem unabdingbar. Jegliche Metalle und Teilchen, die während des Prozesses (Wafer/IMEC/RCA/SOM, etc.) aus dem Ozonsystems auf die Halbleiteroberflächen emittiert würden, würden die Qualität des Mikrochips beeinträchtigen. Einschließlich ihrer Komponenten – wie beispielsweise des Ozongenerators COM-AD oder des Ozonmonitors WM -, sind die Anseros Wassersysteme PAP-SC vollständig frei von Metallen in Kontakt mit Ozon. Sie sind geeignet für saubere Nass- und Trockenverarbeitung, gleichgültig, ob mit oder ohne Säuren. Zur Gewährleistung der Sicherheit umfasst das PAP-SC System einen Ozonzerstörer CAT-HO.

Branchen

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