ANSEROS-ozone-water-system-PAP-SC-3000-2

Anwendungen

IMEC- und RCA-Reinigungsverfahren
UPW-Systeme
Advanced Oxidation Processes AOP
Drei-Phasen-Systeme
Biologischer Abbau DOC
Sterilisation
CIP-Reinigung

Technische Daten

DI-Wasserdurchfluss: 100 … 4000 l/h
DO3: 1 … 100 ppmw
Material in Kontakt mit Ozon: PFA, Quarz

Ozonwasser­aufbereitungs­system PAP-SC-3000

Article number: PAP-SC-3000

Produktdetails

In der Halbleiterverarbeitung ist ein vollständig reines Ozonsystem unabdingbar. Jegliche Metalle und Teilchen, die während des Prozesses (Wafer/IMEC/RCA/SOM, etc.) aus dem Ozonsystems auf die Halbleiteroberflächen emittiert würden, würden die Qualität des Mikrochips beeinträchtigen. Einschließlich ihrer Komponenten – wie beispielsweise des Ozongenerators COM-AD oder des Ozonmonitors WM -, sind die Anseros Wassersysteme PAP-SC vollständig frei von Metallen in Kontakt mit Ozon. Sie sind geeignet für saubere Nass- und Trockenverarbeitung, gleichgültig, ob mit oder ohne Säuren. Zur Gewährleistung der Sicherheit umfasst das PAP-SC System einen Ozonzerstörer CAT-HO.

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