Suche
Close this search box.

Ozonwasser­aufbereitungs­system PAP-SC-2000

Article number: PAP-SC-2000

Produktdetails

In der Halbleiterverarbeitung ist ein vollständig reines Ozonsystem unabdingbar. Jegliche Metalle und Teilchen, die während des Prozesses (Wafer/IMEC/RCA/SOM, etc.) aus dem Ozonsystems auf die Halbleiteroberflächen emittiert würden, würden die Qualität des Mikrochips beeinträchtigen. Einschließlich ihrer Komponenten – wie beispielsweise des Ozongenerators COM-AD oder des Ozonmonitors WM -, sind die Anseros Wassersysteme PAP-SC vollständig frei von Metallen in Kontakt mit Ozon. Sie sind geeignet für saubere Nass- und Trockenverarbeitung, gleichgültig, ob mit oder ohne Säuren. Zur Gewährleistung der Sicherheit umfasst das PAP-SC System einen Ozonzerstörer CAT-HO.

Anwendungen

IMEC- und RCA-Reinigungsverfahren
UPW-Systeme
Advanced Oxidation Processes AOP
Drei-Phasen-Systeme
Biologischer Abbau DOC
Sterilisation
CIP-Reinigung

Technische Daten

Wasserdurchfluss: 100 … 2000 l/h
DO3: 1 … 100 ppmw
Material in Kontakt mit Ozon: PFA, quartz

Bitte kontaktieren Sie für weitere Informationen.

Sprechen Sie uns an und vereinbaren Sie ein unverbindliches Beratungsgespräch. Gerne beraten wir Sie persönlich und individuell. Tel: +49-(0)7071-7995-0

CONTACT US

Please complete the mandatory fields *
ANSEROS-monogram-logo-website-comp

KONTAKTIERE UNS

Bitte füllen Sie die Pflichtfelder aus *​