Die modulare Prozesskammer vermittelt eine Vielzahl von Möglichkeiten und wird kundenspezifisch konfiguriert hinsichtlich:
Gas- bzw. Luftdruck
Gasmenge und Gasspülung
Schleuse
Beleuchtung bzw. Bestrahlung
Arbeitshandschuhe
Temperatur, Feuchte, Gasdotierung, Gaszusammensetzung
Parallel- und Serienschaltung von Kammern
Kammeröffnung, Kammerverschluss, Kammerdichtung
