臭氧处理能力:100 … 1000 g O3/h
臭氧焓:400 g O3/h @ 3,000 Nl/h (SEPgas)
臭氧浓度:0.1 … 190 g O3/Nm3
气体流量:0.1 – 10,000 Nl/h(带MFC)
频率控制范围:0.1 – 100% 容量
远程控制:内置接口,带安全断路开关
载气:任何含氧气体,无油
冷却方式:水冷
尺寸:19英寸/43HU/600毫米,机架式或便携式
机柜尺寸:高2400毫米 x 深600毫米 x 宽1500毫米
接口进/出口:1英寸 – NW25 PFA管
重量:2045公斤